ក្រដាសនិងក្រដាសកាតុងធ្វើកេស

ក្រដាសនិងក្រដាសកាតុងធ្វើកេស

 

ការព្យាបាលផ្ទៃប្លាស្មាសម្រាប់ស្រទាប់ក្រដាស និងក្រដាសកាតុងធ្វើកេសពហុ-

ការព្យាបាលដោយសីតុណ្ហភាពទាប-ប្លាស្មាគឺជាដំណើរការស្ងួតដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលជួយបង្កើនភាពស្អិតជាប់រវាងស្រទាប់ខាងក្នុងនៅក្នុងផលិតផលស្រទាប់ពហុ-សម្ភារៈ (ឧទាហរណ៍ ក្រដាស-ក្រដាសកាតុងធ្វើកេស-សមាសធាតុផ្លាស្ទិច)។ តាមរយៈការកែប្រែថាមពលលើផ្ទៃ និងបង្កើតភាពរដុបនៃមាត្រដ្ឋានណាណូ ប្លាស្មាធ្វើឱ្យផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមសកម្មដោយមិនផ្លាស់ប្តូរលក្ខណៈសម្បត្តិភាគច្រើន។ វា​អនុញ្ញាត​ឱ្យ​មាន​ការ​ភ្ជាប់​គ្នា​កាន់តែ​រឹងមាំ​រវាង​ស្រទាប់​មិន​ដូចគ្នា​ (ឧ. ថ្នាំកូត ខ្សែភាពយន្ត ឬ​របាំង​ដែលមាន​មូលដ្ឋាន​លើ​ជីវ-) ខណៈ​ដែល​កាត់បន្ថយ​សារធាតុ​ស្អិត សារធាតុ primers និង​សារធាតុ​រំលាយ​រហូតដល់ 100% ក្នុង​ដំណើរការ​ផលិត។

 

សំខាន់ បច្ចេកវិទ្យាប្លាស្មាពង្រីកហួសពីខ្សែផលិតកម្ម។ នៅ​ក្នុង​ដំណាក់​កាល​ដំណើរការ​ក្រោយ- វា​ធ្វើ​ឱ្យ​មាន​ភាព​ស្អិត​ល្មួត​ប្រសើរ​ឡើង​សម្រាប់៖

  • ទឹកថ្នាំបោះពុម្ព និងប្រឆាំងនឹង-ថ្នាំកូតក្លែងក្លាយ
  • របាំងការពារទឹក- (ឧ. SF₆ ប្លាស្មាសម្រាប់ហ្វ្លុយអូរីន)
  • អេកូ-ថ្នាំកូតដែលងាយស្រួលប្រើ (ឧ. រុក្ខជាតិ-ស្រទាប់ប្រេង-ដែលមានមូលដ្ឋានលើ hydrophobic)
  • UV-សារធាតុស្អិតដែលអាចព្យាបាលបាន និងថ្នាំផ្សាភ្ជាប់ដែលអាចកែច្នៃឡើងវិញបាន។